Canon FPA-3030i6: Neues Halbleiter-Lithografie-System für kleine Wafer
Canon hat die Markteinführung des FPA-3030i6 i-line Steppers bekannt gegeben. Das neue Halbleiter-Lithografie-Systems ist für die Verarbeitung von Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm (8 Zoll) oder kleiner ausgelegt. Es verwendet ein neu entwickeltes Projektionsoptik, das sich durch eine hohe Transmission und hohe Haltbarkeit auszeichnet. Das System reduziert die Linsenaberration bei Prozessen mit hoher…




































