Nikon klagt wegen Patenverletzungen seiner Halbleiter-Produktionstechnologie durch deren Nutzung in den Lithografiesystemen von ASML. Die optischen Komponenten der ASML-Geräte werden von Zeis geliefert. Nach Angaben von Nikon haben das japanische Unternehmen beim Distriktgericht in Den Haag insgesamt elf Patentverletzungsklagen gegen ASML vorgebracht. Auch in Tokio sei beim Distriktgericht eine Klage gegen ASML eingereicht worden. Die Klage von Nikon gegen Zeiss ist beim Landgericht Mannheim geltend gemacht worden, nachdem Gespräche zwischen Nikon, ASML und Carl Zeiss unter Leitung eines Mediators keine Einigung gebracht hatten.
Bis Ende 2014 bestand zwischen Zeiss und Nikon ein Kreuzlizenzabkommen, dessen Verlängerung die Japaner abgelehnt haben. Dieses Abkommen würde die gegenseitige Nutzung von Patenten ermöglichen. Bei früheren Prozessen von Nikon gegen ASML und Zeiss haben sich die Unternehmen in einem Vergleich zugunsten von Nikon geeinigt.
